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産品名稱: 測量顯微鏡
産品型号: 378 系列
産品展商: 其它品牌
産品文檔:

光學(xué)儀器 投影儀 顯微鏡 詳細技術參數

簡單介紹

測量顯微鏡 •此光學(xué)系統初是為(wèi)暢銷的(de) FS60 型 (後升 級為(wèi) FS70 型) 而開發的(de)。它是作為(wèi)測量檢 測半導體器件的(de)顯微鏡的(de)理(lǐ)想選擇。

測量顯微鏡

的(de)詳細介紹

測量顯微鏡
觀察、測量和(hé)處理(lǐ)系統化的(de)顯微鏡陣容
FS-70
378 系列 — 半導體檢測用顯微鏡
特點
•此光學(xué)系統初是為(wèi)暢銷的(de) FS60 型 (後升
級為(wèi) FS70 型) 而開發的(de)。它是作為(wèi)測量檢
測半導體器件的(de)顯微鏡的(de)理(lǐ)想選擇。
•FS70L 支持 3 種 YAG 激光波長(cháng) (1064nm,
532nm, 355nm)，FS70L4 支 持 2 種 波 長(cháng)
(532nm, 266nm)，可(kě)在半導體和(hé)液晶基闆
中使用薄膜激光切割技術。這就擴大了
激光的(de)使用範圍。然而，對用于顯微鏡
的(de)激光系統的(de)性能和(hé)**性，三豐公司
不負責任。我們推薦在選購激光發射器
時應仔細檢查。
•FS70Z 的(de)标準功能有 ：亮(liàng)視(shì)場，微分幹涉
對比 (DIC) 和(hé)偏振觀測。FS70L 和(hé) FS70L4
不支持 DIC。
•使用內(nèi)置式轉換器使得長(cháng)工作距離(lí)物鏡
的(de)操作很簡單。
•極易操作的(de)設計 ：FS70 采用正像光學(xué)系
統 (視(shì)場中的(de)像與樣品方向相同) 并用橡膠
把手加大微調手輪。
性能參數
型号 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨号 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
短(duǎn)基座型号 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨号 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
對焦 50mm 行程，同心焦距粗調 (3.8mm/rev) 和(hé)微調 (0.1mm/rev) 輪 (左、右)
圖像 正像
瞳距 Siedentopf 型 , 調節範圍 : 51 - 76mm
視(shì)場數 24
俯角 — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º
透過率 50/50 100/0 or
0/100
50/50 100/0 or
0/100
100/0 or 0/100 100/0 or 0/100
保護性濾光片 — — 內(nèi)置激光射線濾光片 內(nèi)置激光射線濾光片
光學(xué)管徑 1X 1X - 2X 焦距型 1X 1X
适用激光 — — 1064/532/355nm 532/266nm
相機端口 C-mount (使用适配器 B 選件) 使用帶有電視(shì)端口的(de)
激光器
C-mount 端口
(帶有綠色濾光片轉換開關)
照明系統 ,
選件
亮(liàng)視(shì)場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)
12V 100W 光纖、無極亮(liàng)度調節、光纖長(cháng)度 ：1.5m, 功耗 150W
物鏡 , 選件
(用于觀察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡 , 選件
(用于激光切割)
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
載重 * 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主機) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
* 鏡體的(de)載重不包括物鏡鏡頭和(hé)目鏡的(de)重量
VMU
378 系列 — 視(shì)像顯微鏡系統
VMU 是一(yī)種袖珍、輕型和(hé)易于安裝的(de)顯微
鏡裝置，通常在半導體制造中用于 CCD 相
機監視(shì)。
特點
•其光學(xué)系統的(de)特點是具有超長(cháng)工作距離(lí)物
鏡，具有對大範圍輻射波長(cháng)的(de)校正功能。
•光纖反射照明可(kě)使工件免于受熱膨脹影
響。需要光纖照明器作為(wèi)光源。
•可(kě)供使用的(de)還有激光支架或轉塔 (物鏡安
裝)。
性能參數
鏡體倍率 1X
适用
波長(cháng)
378-505,
378-506
近紅(hóng)外線和(hé)可(kě)見光範圍
378-513 近紅(hóng)外線 —可(kě)見光— 近紫外
線範圍
378-514 可(kě)見光和(hé)紫外線範圍
物鏡 (選件)
反射照明 • 帶有孔徑光闌系統的(de)遠心
系統
• 需要光纖照明 (選件)
光源 鹵素燈泡 (21V, 150W) (選件)
重量 378-505: 570g
378-506: 590g
378-513: 1270g
378-514: 1300g

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